При работе сканирующего электронного микроскопа возникает неиспользуемое рентгеновское излучение. Оно появляется, когда ускоренные электроны или ионы с энергией до 30 кэВ взаимодействуют с атомами исследуемого образца. Обследование, проведённое при максимальных режимах работы, показало, что это излучение полностью поглощается защитными конструкциями и не выходит за их пределы.
- Максимальная мощность амбиентной эквивалентной дозы на расстоянии 0,1 м от поверхности микроскопов, с учётом расширенной неопределённости, не превышает 0,2 мкЗв/ч.
- Установленный санитарными правилами предел составляет 3,0 мкЗв/ч, то есть измеренные значения существенно ниже допустимого уровня.
Защиту персонала обеспечивает корпус вакуумной камеры. Встроенные блокировки отключают пучок при открытой камере или шлюзе, а при любой аномальной ситуации высоковольтное напряжение отключается автоматически. Доступ в камеру возможен только при выключенном пучке.