Сканирующие электронные микроскопы IQSCAN

За микроскопами IQSCAN стоит один из самых динамичных производителей научного оборудования в Китае. Компания появилась в 2016 году на базе ведущего технического университета страны и всего за несколько лет выросла в одного из лидеров китайского рынка сканирующих электронных микроскопов.
Её развитие идёт в тесном взаимодействии с Китайской академией наук и при поддержке государства: компании отведена важная роль в обеспечении технологического суверенитета Китая в научном приборостроении.
Значительную часть выручки компания вкладывает в собственные разработки и собирает команду международных специалистов в области электронной оптики. Благодаря этому она постоянно предлагает новые технологии и осваивает новые классы приборов: сегодня линейка охватывает СЭМ с вольфрамовым катодом и катодом Шоттки, двухлучевые FIB-SEM системы и просвечивающие электронные микроскопы. Решения уже широко представлены за пределами Китая: оборудование работает в лабораториях Европы, США, Южной Кореи и Юго-Восточной Азии.

Вольфрамовый катод — проверенная временем технология, с которой начиналась сканирующая электронная микроскопия. Она по-прежнему остаётся основой множества лабораторий: сочетает надёжность, простоту обслуживания и невысокую стоимость владения, а для широкого круга задач её возможностей более чем достаточно. Микроскопы с таким катодом — это приборы, на которые можно положиться каждый день и которые годами служат опорой исследований и контроля качества в материаловедении, геологии и минералогии, промышленности и криминалистике.
В линейке СЭМ IQSCAN с вольфрамовым катодом эта классика получила современное воплощение. Её основа — модель W32: пятиосевой моторизованный столик, двуханодная электронная пушка для работы при низких напряжениях и широкие возможности автоматизации делают её универсальным прибором для исследований и аналитики. Базовая W21 при ряде упрощений сохраняет все ключевые возможности линейки, а W33 раздвигает привычные границы класса, приближаясь в низковольтной съёмке к приборам с катодом Шоттки.

Если вольфрамовый катод — надёжная классика, то катод Шоттки — следующая ступень в развитии электронной микроскопии. С ним микроскоп переходит к субнанометровому разрешению: становятся различимы детали, которые прежде терялись, а съёмка при низких ускоряющих напряжениях раскрывает поверхность даже самых деликатных образцов. Пучок высокой яркости и стабильности одинаково уверенно справляется и с тонкой визуализацией, и с длительной аналитикой. Такие микроскопы становятся главными инструментами лабораторий, которые работают на переднем крае науки и имеют дело с большим разнообразием образцов.
В линейке СЭМ IQSCAN с катодом Шоттки три модели. F40 открывает её: надёжный рабочий инструмент, который делает возможности катода Шоттки доступными для широкого круга лабораторий. F50 — основная модель сверхвысокого разрешения, на которую можно положиться в самых разных задачах. Флагманский F50 Ultra с предельным разрешением 0,5 нм при 15 кВ встаёт в один ряд с лучшими мировыми приборами своего класса.

Если сканирующий электронный микроскоп исследует образец, то двухлучевая система позволяет его ещё и модифицировать. К электронной колонне добавляется колонна с фокусированным ионным пучком (FIB). Ионный пучок выполняет прецизионное травление и, совместно с системой инжектирования газа, локальное осаждение материала, а электронный пучок в это время непрерывно контролирует процесс с высоким разрешением. Так готовят поперечные срезы, вырезают ламели для просвечивающей электронной микроскопии и выполняют послойную FIB-томографию для трёхмерной реконструкции структуры.
В линейке IQSCAN двухлучевые системы представлены моделью FIB55. Её основа — электронная колонна с катодом Шоттки и разрешением 0,9 нм при 15 кВ, а ионная колонна с жидкометаллическим галлиевым источником обеспечивает разрешение 2,5 нм при 30 кВ и ток пучка до 65 нА. Система газовой инжекции с набором прекурсоров и наноманипуляторы превращают FIB55 в законченную рабочую станцию, в которой исследование и обработка образца объединены в едином процессе.