+7 812 220 20 80

Сканирующий электронный микроскоп IQSCAN W33

IQSCAN W33 — уникальный сканирующий электронный микроскоп нового поколения с термоэмиссионным вольфрамовым катодом, вобравший сочетание таких технологий, как электронная оптика с высоковольтным супертуннелем, внутрилинзовый детектор электронов и комбинированная электромагнитная и электростатическая объективная линза. Благодаря применению этих технологий в приборе с вольфрамовым катодом преодолён давний предел разрешения подобных микроскопов, что позволяет вольфрамовому СЭМ выполнять задачи при низких ускоряющих напряжениях, ранее доступные только приборам с катодом Шоттки.

Запросить КП

Ключевые преимущества

Инновационное устройство электронно-оптической системы: комбинированная электромагнитная и электростатическая объективная линза и электронная оптика с высоковольтным супертуннелем;
Система термостабилизация объективной линзы с жидкостным охлаждением: эффективная технология отвода тепла, обеспечивающая наилучшую стабильность при накоплении изображений и минимизирующая тепловой дрейф;
Внутринзовый детектор вторичных электронов в стандартной комплектации;
Упрощенная процедура замены катода и встроенный в ПО мастер юстировки электронной колонны;
Оптическая навигационная камера и ИК-телекамера обзора входят в базовую комплектацию;
Высокоточный, моторизованный по пяти осям, столик образцов, подходящий для любых автоматизированных исследований (поиск частиц, поиск следов продуктов выстрелов, автоматизированная минералогия);
Система безопасного перемещения столика, встроенная система коллизий;
Режим компенсации астигматизма с применением искусственного интеллекта. Уникальный режим вспомогательной настройки стигматоров;
Наличие вакуумного буфера; позволяет осуществлять периодическое автоматическое отключение форвакуумного насоса. Повышает акустический комфорт оператора микроскопа.
Множество дополнительных опций для расширения возможностей.

Технические характеристики

Источник электронов; термоэмиссионный вольфрамовый катод Разрешение; 2,5 нм при 15 кВ (SE), 4 нм при 3 кВ (SE), 5 нм при 1 кВ (SE), 4 нм при 30 кВ (BSE) Увеличение; 1x - 300 000x (1х - 16х - оптическое увеличение) Ускоряющее напряжение; от 100 В до 30 кВ Диапазон тока зонда; от 0,5 пкА до 5 мкА Вакуумная система; турбомолекулярный насос (240 л/с), форвакуумный насос (6 м3/ч) Детекторы; внутрилинзовый детектор вторичных электронов, детектор вторичных электронов типа Эверхарта-Торнли (SE), полупроводниковый четырехсегментный детектор обратно отраженных электронов (BSE); Дополнительные системы; оптическая навигационная камера, инфракрасная телекамера обзора, измеритель поглощенного тока Столик; прецизионный столик образцов, моторизованный по пяти осям (X, Y, Z, наклон, вращение) Диапазон перемещений столика; X: 110 мм, Y: 110 мм, Z: 65 мм, наклон: от - 10° до +70°, вращение: 360° непрерывно Внутренние габариты камеры образцов; ширина - 360 мм, высота - 322 мм, глубина - 310 мм Количество портов; 20 интерфейсных портов для установки дополнительного оборудования Максимальные габариты образца; диаметр - 270 мм, высота - 65 мм Максимальный вес образца; 0.5 кг Дополнительные детекторы; внутрилинзовый детектор обратно отраженных электронов, детектор прошедших электронов (STEM) Дополнительные опции; шлюз (максимальные габариты образца: диаметр - 100 мм, высота - 36 мм), энергодисперсионный спектрометр (ЭДС), системы для регистрации катодолюминесценции, системы анализа картин дифракции отраженных электронов (EBSD), столик с нагревом и охлаждением, столик для физико-механических испытаний.

Метрологическое обеспечение

Сканирующий электронный микроскоп IQSCAN W33 внесен в Государственный реестр средств измерений.

Метрологические характеристики

Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY: от 0,2 до 1000 мкм
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY: ±4%
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Kα марганца: не более 129 эВ

Запросить КП

Перейти в базу знаний

Роль напыления в электронной микроскопии

Что такое процесс напыления и зачем он нужен? Способы напыления токопроводящих покрытий.

Глоссарий

Cловарь узкоспециализированных терминов в области сканирующей электронной микроскопии, рентгеновской дифракции и сопутствующих методов пробоподготовки

Рентгеновская порошковая дифракция

Основные принципы рентгеновской порошковой дифракции. Приборы, применение, сильные и слабые стороны

Плазменная очистка образцов для исследований методами ПЭМ и РЭМ

Что такое плазменная очистка и зачем она нужна? Как работают системы плазменной очистки?

Катодолюминесцентная микроскопия и спектроскопия

Детектор катодолюминесценции в РЭМ, подготовка образцов для катодолюминесцентой микроскопии и спектроскопии

Что такое растровый электронный микроскоп?

Растровый электронный микроскоп, его конструкция, виды детекторов, основные возможности.