Дополнительные аксессуары к СЭМ

Система плазменной очистки для СЭМ/РЭМ и FIB-SEM систем. Эффективно удаляет нагар и углеводородные загрязнения с поверхностей камеры СЭМ и образца.

Система инжектирования газа подаёт прекурсоры в камеру FIB-SEM. В сочетании с ионным пучком позволяет локально осаждать металлические, углеродные и диэлектрические слои, а также проводить химически селективное травление.

Детектор LVD позволяет получать изображения во вторичных электронах в режиме низкого вакуума. Такой режим используется для исследования непроводящих образцов в их естественном состоянии.

Электронно-лучевая литография на базе сканирующего электронного микроскопа

Система нагрева образцов in situ объединяет микроскоп IQSCAN FIB55 и нагревательный MEMS-чип. Весь цикл — от пробоподготовки до EBSD-анализа in situ