Напылительные установки

Опция; DSR1; DSCR; DCR; DST1; DSCT; DCT; DST3-T;DST2-TG; DTE; DTT; PLD; PLD-T

Магнетронное распыление; ✓; ✓; —; ✓; ✓; —; ✓; ✓; —; —; —; — Напыление углерода; —; ✓; ✓; —; ✓; ✓; —; —; —; —; —; — Термическое испарение; —; —; —; —; —; —; ✓; ✓; ✓; ✓; —; ✓ Импульсное лазерное осаждение; —; —; —; —; —; —; —; —; —; —; ✓; ✓ Напыление многослойных покрытий; —; —; —; —; —; —; ✓; ✓; ✓; ✓; ✓; ✓ Одновременное использование нескольких источников напыления; —; —; —; —; —; —;опция; —; —; ✓; —; ✓ Дистанционное управление; —; —; —; —; —; —; —; ✓; —; —; —; — RF Power; —; —; —; ✓; —; —; ✓; ✓; —; —; —; — DC Power; ✓; ✓; —; ✓; ✓; —; ✓; ✓; —; —; —; — High Current Power; —; ✓; ✓; —; ✓; ✓; ✓; —; —; ✓; —; ✓ Форвакуумный насос; ✓; ✓; ✓; ✓; ✓; ✓; ✓; ✓; ✓; ✓; ✓; ✓ Турбомолекулярный насос; —; —; —; ✓; ✓; ✓; ✓; ✓; ✓; ✓; ✓; ✓ Размер вакуумной камеры*; S; S, L; S; S, L; S; S; L; L; S; L; L; L Количество мишеней или источников напыления;1;1;1;1;1;1;3;2;1;3;3;3