DST3-T – высоковакуумная установка для нанесения покрытий, оснащенная тремя магнетронами и системой термического испарения

DST3-T спроектирована на базе большой камеры образцов (диаметр − 300 мм) и оснащена тремя водоохлаждаемыми катодами диаметром 2 дюйма, что позволяет проводить процессы длительного напыления.

В конструкции установки используются источники питания ВЧ и постоянного тока. Благодаря этому могут осуществляться процессы распыления полупроводников, диэлектриков и металлических (окисляющихся и благородных) мишеней.

Установка напыления DST3-T с ВЧ-источником питания оснащена автоматическим регулируемым блоком согласования, минимизирующим отраженную мощность в процессе ВЧ-напыления.

DST3-T имеет опциональные аппаратные возможности для улучшения адгезии покрытия к поверхности и непосредственного улучшения структуры покрытия: а) система нагрева до 500 °C для нагрева поверхности во время процесса осаждения; б) система подачи напряжения смещения до 300 В (DC) на образец.

DST3-TA («A» - Angled; катоды, расположенные под углом):
DST3-TA оснащена тремя катодами, расположенными под углом, с общим фокусом. Установка может распылять две или три (опционально) мишени одновременно или независимо для созданий сплавов или многослойных покрытий. Максимальный размер подложек для модели в такой модификации составляет 3 дюйма.

DST3-TS («S» - Straight; катоды с прямым расположением):
DST3-TS с тремя 2-дюймовыми катодами прямого расположения, имеют водяное охлаждение; подходит для напыления одного крупного образца диаметром до 20 см или нескольких небольших образцов.

Напылительная установка DST3-T оснащена сильноточным источником питания и низковольтной (резистивной) сборкой для термического испарения, подходящей для большого разнообразия применений. Система позволяет осуществлять контролируемое термическое испарение широкого спектра материалов на подложку. Различные типы держателей («лодочка», «корзинка» и катушка) для термического испарения могут быть смонтированы на сборке.

Вакуумная камера выполнена из боросиликатного стекла (Pyrex) цилиндрической формы с наружным диаметром 300 мм и высотой 200 мм (расширяема до 250 мм по высоте). DST3-T оснащена встроенным турбомолекулярным насосом мощностью и двухступенчатым пластинчато-роторный форвакуумным насосом производительностью 6 м³/ч. Данная система обеспечивает чистый вакуум в камере напыления без загрязнения маслом, который обычно наблюдается при использовании привычного диффузионного насоса.

DST3-T оснащена 7-дюймовым цветным сенсорным экраном; полностью автоматическое управление, контроль и настройка параметров процесса напыления при помощи удобного программного обеспечения. Информацию о уровне вакуума и этапа процесса напыления покрытия можно отслеживать в виде цифровых данных или графиков на сенсорном экране. Информация о последних 300 покрытиях сохраняется в истории выполненных операций и может быть передана на ПК через USB-порт.

Держатели образцов доступны в двух размерах: 3 дюйма (для DST3-ТA и DST3-ТS) и 8 дюймов (для DST3-ТS). Возможно изготовление держателей индивидуальных размеров в зависимости от задач заказчика. На небольших держателях образцов предусмотрено несколько поджимов для простой фиксации образцов во процессе вращения.

Опционально DST3-T может быть оснащена системой плазменной обработки поверхности. Плазменная обработка/чистка - это процесс удаления органических веществ с поверхности образца или придания ей разнообразной функциональности с помощью ионизированного газа (плазмы). В процессе плазменной обработки можно изменить смачиваемость поверхности образца и повысить гидрофильность или гидрофобность для увеличения эффективности процесса последующего осаждения покрытий. Кроме того, обработка плазмой перед нанесением покрытия устраняет поверхностные загрязнения (на основе углерода, оксиды) и улучшает адгезию между образцом и последующими слоями.