DSCT - High Vacuum Desktop Sputter/Carbon Coater

Высоковакуумная установка нанесения токопроводящих покрытий включает в себя как вставку для испарения углеродной нити, так и вставку для магнетронного распыления различных, в том числе и неблагородных, металлов, например, хрома(Cr), вольфрама(W), иридия(Ir) и т.д.

Данная установка позволяет получить высококачественные мелкозернистые однородные пленки, что необходимо при работе на больших увеличениях в сканирующем электронном микроскопе с полевой эмиссией.

Особенности
  • Высокопроизводительный турбомолекулярный насос 90 л/с Leybold
  • Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
  • Полнодиапазонный вакуумметр
  • Вставка для испарения углеродной нити
  • Импульсный и непрерывный режимы напыления
  • Измеритель толщины напыления, точность измерения 1 нм
  • Интуитивно понятное управление, сенсорный экран
  • Контроль скорости напыления для получения минимальной зернистости
  • Manual or automatic Timed and Thickness sputtering
  • Возможность сохранять графики параметров процесса напыления
  • Легкость загрузки и выгрузки образцов
Спецификация
  • Предельный вакуум: < 7 x10-7 Торр
  • Контроль скорости напыления для получения минимальной зернистости
  • Высокоточный электронный клапан для точного регулирования вакуума в камере
  • Электропитание: 220В-240В, 50/60Гц- 10A
  • USB порт для передачи данных
  • Полный вес: 42кг
Опции и аксессуары
  • Вставка для испарения углеродных стержней
  • Дополнительные кварцевые кристаллы для измерителя толщины
  • Столик с планетарным вращением
  • Запасная стеклянная вакуумная камера
  • Мишени
  • Уплотнительные вакуумные прокладки