DSR1 - Desktop Magnetron Sputter Coater

Компактная система нанесения токопроводящих покрытий предназначена для напыления благородных металлов таких как золото (Au), палладий (Pd), платину (Pt) и золото/палладий (Au/Pd) на непроводящие или плохо проводящие образцы. Полученная тонкая пленка позволяет проводить анализ в сканирующем электронном микроскопе. DSR1 - высокопроизводительная установка позволяющая получать воспроизводимые результаты в полностью автоматическом режиме.
Особенности
  • Двухступенчатый пластинчато-роторный насос, скорость прокачки 4 м3/ч ,
  • Измеритель толщины напыления, точность измерения 1 нм
  • Интуитивно понятное управление, сенсорный экран
  • Контроль скорости напыления для получения минимальной зернистости
  • Ручное или автоматическое напыление по заданному времени или по толщине
  • Легкость загрузки и выгрузки образцо
Спецификация
  • Боросиликатная камера диаметром 170 мм и высотой 140 мм
  • Размеры: 45 см x 50 см x 37 см (В х Ш х Г)
  • Полный вес (включая насос): 42кг
  • Электропитание: 220В-240В, 50/60Гц- 10A
  • Измеритель толщины напыления высокой точности
  • Предельный вакуум: < 40 мТорр.
  • USB порт для передачи данных
Опции и аксессуары
  • Дополнительные кварцевые кристаллы для измерителя толщины
  • Столик с планетарным вращением
  • Запасная стеклянная вакуумная камера
  • Мишени
  • Уплотнительные вакуумные прокладки