+7 812 220 20 80

DST2-TG – высоковакуумная установка для нанесения покрытий, оснащённая двумя магнетронами, системой термического испарения и возможностью размещения в перчаточном боксе.

DST2-TG – компактная высоковакуумная установка, предназначенная для создания многослойных покрытий. Система напыления представлена двумя магнетронами и устройством для термического испарения. Конструкция установки делает возможным ее размещение в перчаточном боксе, реализована система удалённого управления с помощью встроенного Wi-Fi-модуля. Реализована в настольном исполнении и оснащена вакуумной системой на базе высокопроизводительного турбомолекулярного насоса. Идеально подходит для нанесения широкого спектра материалов на различные образцы.

Запросить КП

Перчаточный бокс обеспечивает защищённую среду для создания наиболее деликатных материалов, предотвращая в процессе любой контакт с воздухом или влагой, а также другие нежелательные взаимодействия. Комплекс напыления, состоящий из DST2-TG размещённой в перчаточном боксе, обеспечивает наиболее подходящую среду для нанесения прецизионных покрытий высокой чистоты в условиях высокого вакуума, а также безопасного обращения с образцом в атмосфере инертного газа.

Настольная установка DST2-TG представляет собой высокопроизводительную полуавтоматическую вакуумную систему нанесения покрытий с большой камерой (диаметром 300 мм) и двумя катодами диаметром 2 дюйма с водяным охлаждением, что позволяет проводить процессы длительного напыления. DST2-TG является единой платформой для магнетронного распыления, распыления углеродной нити и термического испарения металлов. Кроме того, DST2-TG может распылять полупроводники и диэлектрики. Катоды для магнетронного распыления и элементы системы термического испарения могут быть установлены вместе одновременно, позволяя таким образом задействовать в общей сложности три источника осаждения. Нанесение углерода также возможно при использовании углеродной нити/шнура.

Дополнительные компоненты:

ВЧ источник питания и согласующий блок для уменьшения потерь мощности в процессе ВЧ-распыления
Система плазменной обработки поверхности для удаления органических загрязнений с поверхности образца перед напылением покрытий

Аппаратные возможности и характеристики:

Достижение высокого вакуума обеспечивается встроенным турбомолекулярным насосом со скоростью откачки 90 л/с
Двухступенчатый пластинчато-роторный форвакуумный насос (опционально – мембранный или спиральный насос)
Широкодиапазонный датчик вакуума
Большая камера для напыления (диаметр 300 мм, высота 200-250 мм) подходящая для напыления габаритных образцов
Электромеханический привод для подъема и опускания вакуумной камеры.
Два магнетронных катода диаметром 2 дюйма с водяным охлаждением
Проходные соединения (KF40) для размещения в перчаточном боксе. Необходимы для подключения источников питания (DC, ВЧ и высокоточный), вакуумного шланга, системы водяного охлаждения и системы подачи газа (аргон), других электрических соединений
Два измерителя толщины напылённого покрытия с точностью до 1 нм
Контроль подачи газа осуществляется с помощью двух прецизионных регуляторов массового расхода для точного контроля давления и расхода аргона
Возможность независимого распыления с каждого из катодов
Функции столика образцов: вращение, регулировка высоты и наклона
Заслонки с электромеханическим приводом

Автоматизация процессов:

Интуитивно понятный сенсорный экран для управления процессами нанесения покрытия и быстрого ввода данных
Удобное программное обеспечение для управления установкой, обновляемое по сети
Полуавтоматический процесс нанесения покрытия
Программное обеспечение для управления вертикальным перемещением камеры напыления
Управление процессами напыления с компьютера через Wi-Fi соединение
Воспроизводимые программируемые процессы нанесения покрытий в автоматическом режиме
Ручной или автоматический режим напыления с окончанием процесса по заданному времени или толщине покрытия
Запись и построение графиков с параметрами процессов напыления
Сохранение рецептов нанесения покрытий для воспроизведения процессов
Автоматический выбор катода для создания многослойных покрытий

DST2-TG – компактная высоковакуумная установка, предназначенная для создания многослойных покрытий, с системой напыления представленной двумя магнетронами и устройством для термического испарения.

Дополнительные возможности:

ВЧ распыление для осаждения материалов с непроводящих мишеней
Система плазменной обработки поверхности

Высокий вакуум

Вакуумная камера выполнена из боросиликатного стекла (Pyrex) цилиндрической формы с наружным диаметром 300 мм. DST2-TG оснащена встроенным турбомолекулярным с производительностью 90 л/с и двухступенчатым пластинчато-роторный форвакуумным насосом производительностью 6 м³/ч. Смонтированная в перчаточном боксе DST2-TG, позволяет обеспечить контролируемую среду в вакуумной камере для осаждения тонких покрытий высокой чистоты, а также финишную обработку образцов до и после процесса осаждения в атмосфере инертного газа внутри перчаточного бокса.

Управление при помощи сенсорного экрана

DST2-TG оснащена 7-дюймовым цветным сенсорным экраном; полностью автоматическое управление, контроль и настройка параметров процесса напыления при помощи удобного программного обеспечения. Панель управления также доступна на отдельном компьютере через Wi-Fi соединение. Информацию об уровне вакуума и этапа процесса напыления покрытия можно отслеживать в виде цифровых данных или графиков на сенсорном экране. Информация о последних 300 покрытиях сохраняется в истории выполненных операций и может быть передана на ПК через USB-порт.

Внешний вид программного обеспечения установки DST2-TG

Применение оборудования:

Металлические, полупроводниковые и диэлектрические покрытия
Нано-и микроэлектроника
Покрытия для отрасли солнечных батарей
Применение для отрасли тонкопленочных аккумуляторов
Создание сплавов и/или многослойных покрытий (Co-Sputtering)
Напыление под скользящими углами (GLAD - Glancing Angle Deposition)
Покрытия для оптических компонентов
Тонкопленочные датчики
Магнитные тонкопленочные устройства
Прецизионное напыление для подготовки образцов для СЭМ и ПЭМ

Спецификация:

Комбинация магнетронного распыления и термического испарения для размещения в перчаточном боксе
Предельный достижимый уровень вакуума: ≤ 8 x 10^-6 Торр
Вакуумная камера с габаритами: 300 мм (диаметр) × 200-250 мм (высота)
Простая и быстрая установка мишеней без необходимости использования держателя для мишени.
Улучшенная теплопроводность за счет использования мишеней с опорной пластиной.
Неограниченное время напыления без нарушения вакуума
Независимый контроль скорости распыления для каждого катода для создания мелкозернистых структур.
Автоматический контроль температуры катода для защиты магнитов
Графики параметров покрытия в режиме реального времени
Простая передача графиков данных о покрытии через USB-порт или через Wi-Fi соединение
Источник питания постоянного тока: 0 - 1200 В, 0 - 500 мА
Электропитание: 220 В, 50/60 Гц
Макс. потребляемая мощность: 4,5 кВт
Габариты установки: 550 мм x 600 мм x 600 мм (В × Ш × Г)
Вес в транспортировочной упаковке: 120 кг, включая насос и стойку управления