+7 812 220 20 80
Двухлучевой сканирующий электронный микроскоп IQSCAN FIB55
Высокопроизводительная многофункциональная FIB-SEM система IQSCAN FIB55 оснащена дополнительной колонной с фокусированным ионным пучком и представляет собой передовое решение для анализа материалов на наноуровне и прецизионной подготовки образцов. В основе прибора — инновационная технология электронной оптики и уникальная конструкция объективной линзы, обеспечивающие работу при низких ускоряющих напряжениях с сохранением высокого разрешения.
Ионная колонна с жидкометаллическим источником ионов галлия (Ga⁺) формирует высокостабильный пучок, который позволяет модифицировать образцы, исследовать поверхностные и глубинные слои, а также проводить трехмерный (3D) анализ материалов.
IQSCAN FIB55 объединяет анализ и модификацию образцов в едином рабочем процессе, обеспечивая широкие аналитические возможности и непревзойденную эффективность исследований.
Ионная колонна с жидкометаллическим источником ионов галлия (Ga⁺) формирует высокостабильный пучок, который позволяет модифицировать образцы, исследовать поверхностные и глубинные слои, а также проводить трехмерный (3D) анализ материалов.
IQSCAN FIB55 объединяет анализ и модификацию образцов в едином рабочем процессе, обеспечивая широкие аналитические возможности и непревзойденную эффективность исследований.
Ключевые преимущества
- Электронная колонна сверхвысокого разрешения. В основе колонны лежит технология Super Tunnel — высоковольтный туннель (высоковольтная ускоряющая трубка), поддерживающий положительный потенциал в колонне. Благодаря этому электроны движутся в нём с высокой скоростью: энергия первичных электронов сохраняется на высоком уровне на всём пути от электронной пушки до объективной линзы микроскопа. При такой конструкции траектория электронов не имеет кроссовера внутри колонны. Высокая энергия пучка и отсутствие кроссовера вместе снижают сферическую и хроматическую аберрации и повышают разрешение при низком ускоряющем напряжении.
- Комбинированная электростатическая и электромагнитная объективная линза. Замедляющее электростатическое поле на выходе из высоковольтного туннеля (Super Tunnel) в сочетании с магнитным полем внутри полюсного наконечника снижает аберрации, значительно повышает разрешение, особенно при низких энергиях первичного пучка. Кроме того, такая конструкция минимизирует магнитное поле вблизи образца, что позволяет исследовать магнитные материалы.
- Система термостабилизации объективной линзы с жидкостным охлаждением. Эффективная технология отвода тепла обеспечивает высокую стабильность при накоплении изображений и сводит к минимуму тепловой дрейф.
- Система смены апертур с электромагнитным отклонением. Полностью автоматическая система смены апертур позволяет выбрать любое из 6 отверстий без механического перемещения и обеспечивает быстрое переключение между режимами работы.
- Ионная колонна нового поколения собственной разработки. Обеспечивает высокое разрешение и широкий диапазон токов, а исключительная стабильность ионного пучка гарантирует непрерывную работу и долговременное воспроизведение пользовательских предустановок.
- Система инжектирования газа (GIS). Одноканальная капиллярная конструкция инжекции с одним резервуаром. Возможность интеграции до трех GIS на одной камере. Широкий выбор прекурсоров. Прецизионный контроль температуры при нагреве. Интегрированное в программное обеспечение управление, быстродействующая высокоточная пневматическая система выдвижения позволяют значительно ускорить процесс работы.
- Наноманипуляторы. Предусмотрены наноманипуляторы двух типов: внутренний 3-осевой (расположен внутри камеры образцов, оснащен пьезокерамическим приводом) и внешний 4-осевой (с функционалом вращения иглы; привод на двигателе постоянного тока, расположенном вне камеры образцов). Оба интегрированы в программное обеспечение и обеспечивают прецизионное перемещение.
- Гибкая конфигурация. Множество портов для дополнительного оборудования: STEM, ЭДС, EBSD, катодолюминесценции и других систем.
Технические характеристики
Электронно-оптическая система
Ионная колонна
Геометрия FIB-SEM
Вакуумная система
Столик и камера образцов
Детекторы и аксессуары
Метрологическое обеспечение
Сканирующий электронный микроскоп IQSCAN FIB55 внесен в Государственный реестр средств измерений.
Метрологические характеристики
- Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY: от 0,2 до 1000 мкм
- Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY: ±4%
- Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Kα марганца: не более 129 эВ
IQSCAN FIB-SEM550 - Запрос КП
Нажимая на кнопку, вы даете согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь c политикой конфиденциальности