+7 812 220 20 80
Сканирующий электронный микроскоп сверхвысокого разрешения IQSCAN F50 Ultra
IQSCAN F50 Ultra — флагманский сканирующий электронный микроскоп в линейке приборов сверхвысокого разрешения с катодом Шоттки.
Предельное разрешение 0,5 нм при 15 кВ и 1,0 нм при 0,5 кВ ставит F50 Ultra не только на вершину линейки IQSCAN, но и в один ряд с лучшими мировыми сканирующими электронными микроскопами с катодом Шоттки. Микроскоп разработан для работы со сложными образцами и сочетает сверхвысокое разрешение во всём диапазоне ускоряющих напряжений с возможностью анализа при большом токе зонда. Двухлинзовая конденсорная система позволяет гибко управлять размером зонда и углом сходимости пучка, сохраняя высокое разрешение при любых его параметрах — вплоть до тока 50 нА. Благодаря этому можно как детально исследовать чувствительные к пучку и непроводящие образцы, так и быстро выполнять элементный и кристаллографический анализ. IQSCAN F50 Ultra рассчитан на центры коллективного пользования и лаборатории, где один прибор должен закрывать максимум задач.
Предельное разрешение 0,5 нм при 15 кВ и 1,0 нм при 0,5 кВ ставит F50 Ultra не только на вершину линейки IQSCAN, но и в один ряд с лучшими мировыми сканирующими электронными микроскопами с катодом Шоттки. Микроскоп разработан для работы со сложными образцами и сочетает сверхвысокое разрешение во всём диапазоне ускоряющих напряжений с возможностью анализа при большом токе зонда. Двухлинзовая конденсорная система позволяет гибко управлять размером зонда и углом сходимости пучка, сохраняя высокое разрешение при любых его параметрах — вплоть до тока 50 нА. Благодаря этому можно как детально исследовать чувствительные к пучку и непроводящие образцы, так и быстро выполнять элементный и кристаллографический анализ. IQSCAN F50 Ultra рассчитан на центры коллективного пользования и лаборатории, где один прибор должен закрывать максимум задач.
Ключевые преимущества
- Двухлинзовая конденсорная система. Размер зонда, угол сходимости и ток пучка плавно регулируются конденсорными линзами при неизменной апертуре. Высокое разрешение сохраняется во всём диапазоне токов — от съёмки при малых токах до анализа при токе до 50 нА.
- Электронная колонна сверхвысокого разрешения. В основе колонны лежит технология Super Tunnel — высоковольтная ускоряющая трубка, которая поддерживает положительный потенциал на всём пути пучка. Электроны сохраняют высокую энергию от электронной пушки до объективной линзы, а их траектория не имеет кроссовера внутри колонны. Вместе это снижает сферическую и хроматическую аберрации и повышает разрешение при низких ускоряющих напряжениях.
- Комбинированная электростатическая и электромагнитная объективная линза. Замедляющее электростатическое поле на выходе из высоковольтного туннеля (Super Tunnel) в сочетании с магнитным полем внутри полюсного наконечника снижает аберрации и значительно повышает разрешение, особенно при низких энергиях первичного пучка. Кроме того, такая конструкция минимизирует магнитное поле вблизи образца, что позволяет исследовать магнитные материалы.
- Система термостабилизации объективной линзы с жидкостным охлаждением. Эффективная технология отвода тепла обеспечивает высокую стабильность при накоплении изображений и сводит к минимуму тепловой дрейф.
- Апертура объективной линзы: однопозиционная.
- Внутрилинзовый детектор DHO (Dynamic Hybrid Objective) в базовой комплектации. Разделение сигнала вторичных электронов обеспечивает оптимальный потенциальный контраст, пассивный (PVC) или активный (AVC), для анализа отказов в микроэлектронике, исследования проводящих композитов и электродов аккумуляторов. Энергетическая фильтрация обратно отражённых электронов усиливает композиционный контраст.
- Активная электромагнитная антивибрационная подвеска в базовой комплектации. Встроенная система с электромагнитными актуаторами эффективно подавляет внешние вибрации, обеспечивая стабильность изображения на уровне предельного разрешения.
- Гибкая конфигурация. Множество портов для дополнительного оборудования: STEM, ЭДС, EBSD, катодолюминесценции и других систем.
Технические характеристики
Электронно-оптическая система
Вакуумная система
Столик и камера образцов
Детекторы и аксессуары
Метрологическое обеспечение
Сканирующий электронный микроскоп IQSCAN F50 внесен в Государственный реестр средств измерений.
Метрологические характеристики
- Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY: от 0,2 до 1000 мкм
- Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY: ±4%
- Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Kα марганца: не более 129 эВ
IQSCAN F50 Ultra — Запрос КП
Нажимая на кнопку, вы даете согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь c политикой конфиденциальности