Система регистрации катодолюминесценции серии Rainbow устанавливается на любой сканирующий электронный микроскоп и предназначена для получения спектров катодолюминесценции и изображений
Запросить КП
Rainbow позволяет накапливать спектры катодолюминесценции, визуализировать интенсивность спектра катодолюминесценции и выполнять картирование спектров катодолюминесценции в микро- и наномасштабе. Картирование можно проводить как для одной выбранной длины волны, так и для полного спектра.
Система Rainbow состоит из генератора развертки электронного пучка СЭМ, зеркала для регистрации флуоресценции, интерфейса оптоволоконной передачи сигнала, одно- и многоканальных детекторов, системы сбора сигналов и многофункционального спектрометра. Вся система интегрирована и управляется специализированным программным обеспечением.
Система Rainbow управляет сканированием электронного зонда, а детекторы в камере сканирующего электронного микроскопа работают синхронно с генератором развертки, что дает возможность получения спектра катодолюминесценции в выбранных точках и спектрального картирования.
Параметр; Детектор катодолюминесценции Rainbow
Тип детектора; одно- и многоканальные детекторы
Спектральный диапазон; 250 - 1100 нм
Спектрометр; Фокусное расстояние: 320 мм, до трех дополнительных плоских решеток (опции)
Турель фильтров; До шести дополнительных полосовых фильтров, управляемых программным обеспечением.
Спектральное разрешение ФЭУ; Решетка 0,2 нм при 1200 г/мм
Спектральное разрешение ПЗС-матрицы; Решетка 0,2 нм при 1200 г/мм, размер пикселя 15x15 мкм²
Квантовая эффективность ПЗС; >90% при длине волны 800 нм
Щель спектрометра; Регулируемая ширина: 0-3 мм
Интерфейс; Плоский входной фланец
Эффективность сбора; >90% в режиме эллипсоидного зеркала
Программное обеспечение; Независимое от РЭМ
Источник питания; 220 В(±10%), 50 Гц
Требования к температуре; 15 °С - 25 °С, колебания ⩽ ±2 °С
Требования к относительной влажности; <70%
Вибрационные и электромагнитные требования; Совместимость с соответствующими требованиями для электронных микроскопов, дополнительных требований нет.
Примеры применения детектора катодолюминесценции Rainbow
Слои атомов индия в субстрате из InGaN
Светодиоды дальнего УФ диапазона (DUV-LED). Изображения катодолюминесценции в полном спектральном диапазоне и спектральный анализ устройства
Флуоресцентный материал YAG. Изображения катодолюминесценции и спектральный анализ промышленного люминофора (YAG)
Рост ZnO:Mg на подложке ScAlMgO4. Изображение катодолюминесценции в полном спектральном диапазоне и спектральный анализ ZnO:Mg при различных ускоряющих напряжениях РЭМ.