Опция; KYKY EM6900
Разрешение; 3нm 30кВ (SE) | 6нм 30кВ (BSE)
Увеличение; 12x - 600000x
Тип катода; Термоэмиссионный вольфрамовый катод
Ускоряющее напряжение; 0 - 30кВ
Вакуумная система; турбомолекулярный насос, роторный насос
Детекторы; SE, полупроводниковый четырехсекционный BSE
Столик; с пятью степенями свободы
Диапазон перемещений столика; X,Y,Z: 0 - 80мм | вращение: 360° | наклон: -5° - 90°
Максимальный диаметр образца; 175мм
Дополнительные принадлежности; CCD, EDS, EBSD, CL, WDS и пр.
Модификации; EBL, LaB6, STM, AFM, Heating Stage, Cryo Stage, Tensile Stage, Micro-nanomanipulator, SEM + Coating Machine, SEM + Laser и пр.
