Опции; KYKY EM8000 FEG SEM
Разрешение; 1.5нm 15кВ (SE) | 3нм 20кВ (BSE)
Увеличение; 15x - 500000x
Тип катода; катод Шоттки, полевая эмиссия
Ток зонда; 10пА - 300нА
Ускоряющее напряжение; 0 - 30кВ
Вакуумная система; ионный насос, турбомолекулярный насос, роторный насос
Детекторы; SE, полупроводниковый четырехсекционный BSE
Столик; моторизованный с пятью степенями свободы
Диапазон перемещений столика; X,Y,Z: 0 - 80мм | вращение: 360° | наклон: -5° - 70°
Максимальный диаметр образца; 175мм
Дополнительные принадлежности;CCD, EDS, EBSD, CL, WDS и др.
Модификации; EBL, STM, AFM, Heating Stage, Cryo Stage, Tensile Stage, Micro-nanomanipulator, SEM+Coating Machine, SEM+ Laser и пр.
