KYKY-EM8000 FEG-SEM

Опции; KYKY EM8000 FEG SEM

Разрешение; 1.5нm 15кВ (SE) | 3нм 20кВ (BSE) Увеличение; 15x - 500000x Тип катода; катод Шоттки, полевая эмиссия Ток зонда; 10пА - 300нА Ускоряющее напряжение; 0 - 30кВ Вакуумная система; ионный насос, турбомолекулярный насос, роторный насос Детекторы; SE, полупроводниковый четырехсекционный BSE Столик; моторизованный с пятью степенями свободы Диапазон перемещений столика; X,Y,Z: 0 - 80мм | вращение: 360° | наклон: -5° - 70° Максимальный диаметр образца; 175мм Дополнительные принадлежности;CCD, EDS, EBSD, CL, WDS и др. Модификации; EBL, STM, AFM, Heating Stage, Cryo Stage, Tensile Stage, Micro-nanomanipulator, SEM+Coating Machine, SEM+ Laser и пр.