IQSCAN TEM120 — просвечивающий электронный микроскоп (ПЭМ) на 120 кВ с термоавтоэмиссионным катодом Шоттки. Полевая эмиссия, характерная для приборов более высокого класса, здесь сочетается с полностью цифровым управлением и модульной архитектурой, которая позволяет наращивать возможности микроскопа по мере развития задач лаборатории. Микроскоп выпускается в двух исполнениях, которые отличаются полюсным наконечником объективной линзы:
Для материаловедения — с наконечником высокого разрешения: информационный предел не хуже 0,14 нм, разрешение по точкам не хуже 0,30 нм, увеличение до ×1 500 000. Подходит для прямого наблюдения кристаллической решётки, анализа наночастиц, тонких плёнок и дефектов структуры.
Для биологии и медицины — с наконечником высокого контраста и наклоном образца до ±90°. Рассчитан на слабо рассеивающие объекты: вирусы, белковые комплексы, ультратонкие срезы клеток и тканей, полимеры. Подходит для томографии.
Автоэмиссионный катод Шоттки в классе 120 кВ. Приборы этого класса традиционно оснащают термоэмиссионными катодами из вольфрама или LaB6. Катод Шоттки обеспечивает яркость на один-два порядка выше и вдвое меньший энергетический разброс электронов. Высокая когерентность пучка расширяет информационный предел и повышает качество фазового контраста при высоких увеличениях.
Два ионных насоса на электронную пушку. Сверхвысокий вакуум в камере катода поддерживают два выделенных ионных насоса. На эмиттер адсорбируется меньше молекул остаточных газов, которые меняют работу выхода, и меньше ионов остаточных газов бомбардирует его острие. В результате ток эмиссии более стабилен, а срок службы катода увеличивается.
Два варианта полюсного наконечника объективной линзы. Наконечник высокого разрешения (информационный предел 0,14 нм, разрешение по точкам 0,30 нм) предназначен для прямого наблюдения кристаллической решётки. Наконечник высокого контраста повышает контраст слабо рассеивающих объектов — биологических образцов и полимеров, а наклон образца до ±90° делает его удобным для томографии. Конфигурация выбирается под задачи лаборатории.
Объективная линза постоянной мощности с жидкостным термостатированием. Тепловыделение линзы не зависит от режима работы, а контур жидкостного охлаждения поддерживает её температуру постоянной. Это обеспечивает высокую стабильность при накоплении изображений и сводит к минимуму тепловой дрейф.
Двухступенчатая система виброизоляции. Колонна установлена на основании с демпфирующей системой, вторая ступень дополнительно подавляет внешние вибрации. Это обеспечивает стабильность изображения при высоких увеличениях и длительных экспозициях.
Работа в светлом помещении. Изображение с флуоресцентного экрана в реальном времени передаёт на монитор камера на 8 Мп с частотой от 20 кадров/с. Затемнённая комната не требуется.
Основная CMOS-камера 4K × 4K с частотой 24 кадра/с. Камера нижнего расположения выдаёт 24 кадра/с в полном кадре, поэтому фокусировку, юстировку и поиск области интереса можно вести по живому изображению с полным разрешением. Управление камерой и обработка изображений интегрированы в ПО микроскопа. Поддерживается подключение камер сторонних производителей.
Полностью цифровое управление. Подача высокого напряжения, включение катода, откачка и напуск, заслонка пучка, перемещение столика и навигация по образцу автоматизированы и управляются из единого ПО. Автофункции и предустановленные режимы сокращают время настройки, а контрольная панель с энкодерами сохраняет привычный тактильный контроль при юстировке.
Моторизованные апертуры. Конденсорная, объективная и селекторная диафрагмы перемещаются моторизованными приводами и переключаются из ПО. Положение апертур воспроизводится при смене режимов, юстировка ускоряется, а риск механических ошибок оператора снижается.
Дистанционная работа оператора. Благодаря полному управлению из ПО оператор может работать из отдельного помещения. Так колонна изолирована от тепла, шума и движения воздуха, которые вносит присутствие человека, и стабильность при съёмке с высоким разрешением повышается.
Безмасляная вакуумная система. Откачка идёт без масляных насосов, поэтому исключается загрязнение колонны и образца парами масла. Криоловушка дополнительно снижает загрязнение образца под пучком.
Модульная конструкция и расширяемость. Модули микроскопа модернизируются и заменяются независимо друг от друга. Предусмотрена возможность дооснащения STEM-детектором, ЭДС- и EELS-спектрометрами, боковой камерой, криобоксом и многофункциональными держателями.
Технические характеристики
Электронно-оптическая система
Полюсный наконечник; высокого контраста (HC) или высокого разрешения (HR)
Катод; автоэмиссионный катод Шоттки, W/ZrO
Ускоряющее напряжение; от 10 до 120 кВ
Информационный предел разрешения; не хуже 0,20 нм (HC) / не хуже 0,14 нм (HR)
Разрешение по точкам; не хуже 0,36 нм (HC) / не хуже 0,30 нм (HR)
Увеличение; от ×10 до ×1 200 000 (HC) / от ×10 до ×1 500 000 (HR)
Источник высокого напряжения; с низким уровнем пульсаций
Конденсорная система; двухступенчатая с адаптивным освещением (опционально — трёхступенчатая)
Режимы освещения; параллельный и сходящийся пучок
Коррекция астигматизма; стигматоры
Объективная линза; постоянной мощности, жидкостное термостатирование
Система формирования изображения; четырёхступенчатая проекционная
Апертуры; конденсорная, объективная и селекторная — моторизованные
Заслонка пучка; пневматическая, с управлением из ПО
Вакуум в электронной пушке; сверхвысокий, два ионных насоса
Тип; безмасляная, с автоматическим управлением
Насосы; форвакуумный × 1, турбомолекулярный × 1, ионные × 3
Криоловушка; в наличии
Перемещение столика; X / Y / Z / α, моторизованное
Диапазон перемещений; X ≥ 8 мм, Y ≥ 2 мм, Z ≥ 0,8 мм
Наклон образца; ±90° (HC) / ±70° (HR)
Держатель в базовой комплектации; с одним наклоном
Основная камера; CMOS 4096 × 4096, 24 кадра/с, нижнего расположения
Совместимость; поддержка камер сторонних производителей
Камера наблюдения экрана; не менее 8 Мп, не менее 20 кадров/с